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旋涡式真空泵(又称再生式真空泵)是一种干式真空泵,通过高速旋转的叶轮产生旋涡气流,实现对气体的压缩和抽吸。与传统的油润滑真空泵相比,旋涡式真空泵具有无油污染、结构紧凑、维护简便等优势,适用于对洁净度要求较高的工业场景。
工作原理
旋涡式真空泵的核心部件是一个高速旋转的多叶片叶轮。当叶轮旋转时,气体从进气口进入泵腔,并在叶片的推动下形成旋涡状流动。气体在泵腔内被多次压缩,最终从排气口排出,从而形成真空环境。
主要特点
无油设计:无需润滑油,避免油蒸气污染,适用于洁净环境(如半导体、医药行业)。
低维护成本:结构简单,易损件少,减少停机维护时间。
节能高效:相比传统液环泵或旋片泵,能耗更低,运行更经济。
低噪音、低振动:优化叶轮设计,运行平稳,适合实验室或精密制造环境。
耐腐蚀性:可选不锈钢或特殊涂层材质,适应腐蚀性气体工况。